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          半導體超純水設備:DI水(超純水)的測試標準

          來源:濟南純水設備??????2021/11/10 13:56:11??????點擊:

          濟南純水設備 http://www.spocapp.com】對于DI水的測試,需要精密的儀器和受控制的環境,如需要達到一定級別的無塵環境,專門的實驗室等。不過大多數公司不可能投資巨額的資金去做該測試,將DI水送到有資格的外部實驗室進行測試是一個可以考慮的做法。下面的內容就DI水的常用測試項目和方法做簡單的介紹:

          1、純水設備電阻率測試(Resistivity test )

          該測試要求DI水需要處于溫度在25攝氏度狀況下,多數情況下工廠可以在線監控該項測試,即可以在DI水的出水端安裝一個電阻測試儀器,可以隨時記錄數據的變化。除了在線監控外,也可以送到實驗中心進行測試。測試結果的判定可以根據產品的要求而定。如在電腦的磁頭工廠,DI水是直接用來清洗產品的,所以要求非常高,一般要求在15---18MΩ?cm之間。測試方法是根據美國材料實驗協會的標準(ASTM)。

          2、蒸發后殘留物測試(Residue after evaporation test

          該測試是監控DI水殘留物含量的測試,結果評估是看每升水中有多少ug殘留物(ug/L),其依據是根據ASTM D5462 /F1094進行控制。

          3、細菌測試(Bacteria test

          該測試監控DI水中微生物的含量,表面上我們看到的是一杯非常透明的干凈的水,其實在水里面有很多微生物的存在,相對來說,DI水中的微生物會比我們飲用的自來水中少很多,因為DI水的生產流程經過了多次過濾、消毒、紫外線殺菌等等過程。做該測試會耗時較長,具體做法是使用培養皿對DI水進行細菌培植,到一定的時數后再使用放大鏡看DI水中有多少細菌生長出來。因為細菌需要養料才能生長,該測試就是根據該原理來測試細菌的數量。其判定結果是觀測在100ml水中有多少個細菌,需要觀測出不同大小的數量。

          4、純水設備液態塵粒測試(LPC test

          該測試是監控DI水中一定粒徑下粒子的含量,一般控制每毫升中離子的個數(個/ml)。該測試是DI水非常重要的一個測試,也是監控DI水的必測項目。在污染控制領域,一般對0.5um粒徑的粒子的個數進行嚴格控制,如在電腦磁頭行業的公司,一般標準控制在1000/ml。不過到底定什么樣的標準,可以根據產品特性來對DI水的LPC做出限制,一般實驗可以測試小到0.1um 350um的粒徑。該測試方法是根據ASTM D4327/5542條款盡心操作。

          5、硅油總量測試(Total Silica test

          在多數的高科技產品生產中,對硅油是必須作出嚴格控制的,因為硅材料的分子特性可以對產品造成污染從而最終損壞該產品,所以該項測試是也是DI水非常重要的測試之一。測試結果一般是以每升水中含有多少微克的硅做為判定標準(ug/L)。該測試方法依據ASTM D5673D3919進行測試。對于測試結果的理解,需要特別作出說明,如果測試結果顯示沒有硅油,這并不是表示DI水中不存在硅油,而是測試結果沒有超出測試標準中的敏感線(值)。

          6、離子測試(Ionic content

          該測試也是DI水非常重要的測試之一,主要監控DI水中各種陰陽離子的含量,測試結果一般用總量不超過多少微克來判定(ug/ml)。比較常見的離子有:氯離子、鐵離子、鈉離子、硝酸根離子、硫酸根離子、鈣離子等。

           7、金屬離子測試(Metal content test

          該測試主要監控DI水中的金屬離子的含量,測試結果一般用般用總量不超過多少微克來判定(ug/ml)。比較常見的離子有:鉀離子、鐵離子、鈉離子、鎂粒子、鈣離子等等。監控金屬離子是用來評估水的硬度是否合適。

          8、溶解氧測試(Dissolved Oxygen

          該測試主要是監控DI水中活性氧的含量,因為水中含氧量過高,會加速其它物質的氧化反應從而影響到終端產品。其結果評估一般看每升水中含有多少微克的活性氧(ug/l)。可以參考ASTMD5391進行控制和測試。

          綜上所述,我們對DI水進行各種不同類型的測試,其最終目的是為了終端產品的要求,根據不同產品類型可以有不同的測試項目和要求,以上幾個方面的測試是最常用的幾種測試方法。其它的如毒素測試(Endotoxin test),可溶解硅的測試(Dissolved silica test),總有機碳測試(TOC)等也時有用到。純水設備北京純水設備天津水處理設備天津去離子水設備醫院用純化水設備 實驗室純水設備醫用GMP純化水設備

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